Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Denetlenen Tedarikçi Kimyasal buhar deposition, reaksiyon sürecini desteklemek, reaksiyon hızını etkili bir şekilde artırmak ve reaksiyon sıcaklığını düşürmek için yüksek enerjili plazma kullanabilen, plazma geliştirilmiş kimyasal buhar deposition teknolojisini benimser.
Silikon nitrür, amorf silikon ve mikrokristalli silikonun optik cam, silikon, kuvars ve paslanmaz çelik gibi farklı alt tabakalara ince filmlerini yerleştirmek için uygundur. İyi bir film oluşturma kalitesine sahiptir, daha az pim deliği vardır ve çatlaması kolay değildir. Amorf silikon ve mikrokristalli silikon ince film güneş pili cihazlarının hazırlanması için uygundur. Bu, üniversiteler ve bilimsel araştırma enstitülerindeki ince film malzemelerinin bilimsel araştırmalarında ve küçük parti hazırlıklarında yaygın olarak kullanılabilir.
|
RF güç kaynağı |
Sinyal frekansı |
13,56 MHz |
|
|
Güç çıkış aralığı |
0 ~ 500 W |
||
|
Maksimum yansıyan güç |
100 W |
||
|
Yansıyan güç (maksimum güçte) |
5 W |
||
|
Güç kararlılığı |
±%0.1 |
||
|
Çalışma Odası |
Isıtma sıcaklığı |
RT-1000ºC |
|
|
Sıcaklık kontrolü doğruluğu |
±1 ºC |
||
|
Numune tutucu |
Φ200 mm |
||
|
Numune tutucunun dönme hızı |
1 dev/dak ayarlanabilir |
||
|
Püskürtme başlığı boyutu |
Φ90 mm |
||
|
Mesafe |
Püskürtme başlığı ile örnek arasındaki mesafe 40 mm sürekli ayarlanabilir |
||
|
Yer dekonumlandırma için çalışma vakumu |
0. 133-133Pa (teknik sürece göre ayarlanabilir) |
||
|
Flanş |
Üst flanş motor tarafından kaldırılabilir, alt tabakanın değiştirilmesi kolaydır ve görsel bir pencere vardır |
||
|
Oda |
Paslanmaz çelik malzeme, Φ500mm * 500mm |
||
|
Gözlem penceresi |
Φ100 mm, deflektör ile |
||
|
Gaz beslemesi sistem |
Kanal Numaraları |
6 |
|
|
Ölçüm birimi |
Kütle akış kontrolörü |
||
|
Ölçüm aralığı |
A kanalı: H2 için 0 ~ 200SCCM |
Açıklamalar: Başka aralıklar gerekiyorsa, lütfen sipariş verirken belirtin. Müşterinin özel gereksinimlerine göre, ilgili gaz tipi ve aralığı akış ölçüm cihazı isteğe bağlıdır. |
|
|
B kanalı: CH4 için 0 ~ 200SCCM |
|||
|
C kanalı: C2H4 için 0 ~ 200SCCM |
|||
|
C kanalı: N2 için 0 ~ 500SCCM |
|||
|
D kanalı: NH3 için 0 ~ 500SCCM |
|||
|
E kanalı: AR için 0 ~ 500SCCM |
|||
|
Ölçüm doğruluğu |
±%1.5 F.S |
||
|
Çalışma basıncı farkı |
-0,15 Mpa~0,15 Mpa |
||
|
Bağlantı borusu |
304 paslanmaz çelik |
||
|
Gaz kanalı |
304 paslanmaz çelik iğne valf |
||
|
Arabirim özellikleri |
gaz girişi ve çıkışı için 1/4" yüksfer soket |
||
|
Vakum sistemi |
Destek pompası |
4,7 L/sn |
|
|
Moleküler pompa |
1200 L/sn |
||
|
Vakum ölçümü |
Bileşik vakum göstergesi, 10 Pa~105 Pa aralığı |
||
|
Vakum derecesi |
5.0 * 10 Pa |
||
|
Su soğutucu |
Soğutma suyu sıcaklığı |
<= 37 ºC |
|
|
Su akışı |
10 L/dak |
||
|
Güç |
0,1 KW |
||
|
Soğutma gücü |
50 W/ºC |
||
|
Güç kaynağı |
AC220V 50 Hz |
||
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Denetlenen Tedarikçi 
