Customized: | Customized |
---|---|
Structure: | Desktop |
Material: | Aluminum |
Certification: | CE, TUV |
Application: | School, Hospital, Lab |
Type: | Magnetron Sputtering Source |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Özellikler |
Saçma başlığı, patlayan verimi artırmak amacıyla bombardıman açılarının ayarlanması için +/- 25 derece eğilebilir. Paslanmaz çelik ve seramik içeren yüksek kaliteli malzemelerden üretilmiştir. Elektromanyetik sonlu eleman hesaplamaları, yüksek alan kuvveti ve tek tip alan profili elde etmek için kalıcı manyetik tertibatın tasarımında kullanılır. Mıknatıs, dayanıklılığı en üst düzeye çıkarmak için soğutma suyu korozyonuna karşı koruyucu malzeme ile kaplanmıştır. Çok çeşitli DC ve RF güç kaynaklarıyla uyumlu standart RF konektörü. Düşük empedanslı, sputtering başlıklar harici bir güç kaynağıyla kolayca birbirine geçebilirler. Birlikte verilen hızlı konnektör ile standart bağlantı elemanı kurulumu kolaydır 2 inç Bakır Destek Plakası (EQ-CBP-2) dahildir. Hedef değişimi kolaydır ve silahı farklı yükseklikteki hedeflere uyacak şekilde ayarlamak gerekmez. |
Güç gereksinimi | DC (Maks.) 500 W RF (Maks.) 300 W |
Elektrik Bağlantısı Tipi |
Standart HN Dişi konektör dahildir (DC ve RF, PIC.1) İsteğe bağlı SL16 kablo konektörü SL6 konektörlü isteğe bağlı 148 cm RF kablosu |
Sputtering Akımı (Maks.) | 5 Amper |
Sputtering Voltajı | 200-1000 V |
Püskürtme Basıncı | 1-1000 mTorr |
Boyutlar | Anot Kalkanı Çapı: 86 mm |
Püskürtme Hedefi |
Çap: 2.0 inç (50,8 mm), Kalınlık: manyetik olmayan hedef için en fazla 1/4"; manyetik hedef için en fazla 1/16 Kullanım: %30'e kadar Mıknatıs: NdFeB nadir Topraklama Mıknatısı |
Soğutma suyu gereksinimi |
Akış Hızı: 0.8 GPM, filtreli Su giriş sıcaklığı : < 20 C Su boruları: 6 mm hızlı bağlantı kesme. |
Montaj | Kesintisiz besleme: 3/4" O.D. boru |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler