3 kanallı şamandıra akış ölçüm cihazı ile 1500 C tek bölgeli yüksek vakumlu CVD fırın
Vakum CVD fırınının ürün açıklaması
1500°C tek ısıtma bölgeli yüksek vakumlu CVD fırın ( CY-O1500-60IT-3F-HV) 1500°C tek sıcaklık bölgeli tüp fırınından, üç kanallı şamandıra akışölçeri bir yüksek vakum moleküler pompa setinden oluşur. Gaz tepkimeye karşı olan madde, katı bir film oluşturmak için alt tabaka yüzeyinde biriken katı faz ürünü oluşturmak amacıyla belirli koşullar altında yasal bir tepkiyle oluşturulur.
Tüp fırını PID sıcaklık kontrolü için hassas sıcaklık kontrol cihazı tarafından kontrol edilir. 30 segmentli kaldırma sıcaklığı programını düzenleyebilir ve aşırı ısınma ve kısa devre koruması işlevine sahiptir. Fırın borusunun her iki tarafındaki flanşlarda, fırın tüpündeki atmosferi kontrol etmek için kullanılabilen bir dijital vakum göstergesi ve bir mekanik basınç göstergesi bulunur. Aynı zamanda tüp fırını kullanımı kolay, yüksek çözünürlüklü gerçek renkli dokunmatik ekran ile çalıştırılır. Profesyonel olmayan kişiler bile basit bir eğitimden sonra cihazın kullanımı konusunda uzmanlaşabilir ve bu da deneme verimliliğinizi büyük ölçüde artırabilir.
CVD film ekipmanının fırın tüpü yüksek saflıkta aluminadan yapılmıştır ve fırın gövdesi entegre tasarıma sahiptir. Benzersiz tasarımı sistemin 1500°C'de sabit ve güvenli olmasını sağlar. Isıtma elemanı, 1500°C 'ye kadar yüksek sıcaklığa ulaşabilen yüksek kaliteli silikon karbon çubuktan yapılmıştır. Müşterinin ihtiyacı varsa silikon molibden çubuk ısıtma elemanı 1700 ºC'lik daha yüksek bir sıcaklığa ulaşmak için özelleştirilebilir.
CVD fırını, deney için gerekli karışık gazı doğru bir şekilde hazırlamak için 1~3 kanal gaz karıştırabilen üç kanallı bir şamandıra debimetresine sahiptir. Gaz basıncını ve karışım deposu basıncını izlemek için şamandıra akış ölçerinin önüne başka bir basınç göstergesi takılmıştır.
CVD fırını ayrıca 1,0E-3pa seviyesinde vakum sağlayabilen hassas moleküler pompa seti ile donatılmıştır. Bu sistem, kullanıcılara sıradan mekanik pompalara göre daha saf ve daha katı bir deneysel ortam sağlayabilir.
uygulamalar:
CVD fırını, üniversitelerde, araştırma enstitülerinde, yüksek sıcaklıkta sinterleme, metal ekleme, kalite inceleme vb. için uygundur. Özellikle gaz karıştırma atmosferleri gerektiren CVD deneyleri için endüstriyel ve madencilik kuruluşları. Kimyasal reaksiyon depozisyon ile kimyasal tepkimeye göre film hazırlama
Vakum CVD fırınının teknik parametreleri
Vakum borusu fırını |
Model |
CY-O1500-60IT |
Tüp malzemesi |
Yüksek saflıkta alumina |
Tüp Çapı |
60 mm (isteğe bağlı 50 mm, 80 mm, 100 mm) |
Tüp uzunluğu |
1000 mm |
Fırın odası uzunluğu |
400 mm |
Isıtma bölgesi uzunluğu |
300 mm |
Sabit sıcaklık bölgesi |
150 mm |
Çalışma sıcaklığı |
≤ 1450 ºC |
Sıcaklık kontrolü doğruluğu |
±1 ºC |
Sıcaklık kontrol modu |
30 veya 50 segmentli program sıcaklık kontrolü |
Ekran modu |
LCD |
Sızdırmazlık yöntemi |
304 paslanmaz çelik vakum flanşı |
Flanş arayüzü |
1/4" yüksfer konektörü, KF16/25/40 bağlantı |
Vakum |
4,4E-3Pa |
Güç kaynağı |
AC: 220V 50 Hz |
Gaz besleme sistemi |
Model |
Çİ-3F |
Gaz kanalı |
3 kanallı |
Ölçüm birimi |
Gaz şamandıra debisi ölçer |
Ölçüm aralığı |
A kanalı: 0~100 ml H2 gaz |
Açıklamalar: Başka aralık veya gaz türlerine ihtiyacınız varsa, sipariş verirken belirtmeniz gerekir. Müşterinin özel gereksinimlerine göre ilgili gaz tipi ve aralığının akış ölçer seçilebilir. |
B kanalı: 16 ~ 160 ml N2 gazı |
C kanalı: 25~250 ml AR gaz |
ölçüm doğruluğu |
±%2.0 |
Boru basıncı direnci |
3 MPa |
Çalışma basıncı farkı |
50 ~ 300 kPa |
Bağlantı borusu |
304 adet kapsız çelik |
Gaz kanalı |
304 paslanmaz çelik iğne valf |
Arabirim özellikleri |
gaz girişi ve çıkışı için 1/4" yüksfer soket |
Egzoz sistemi |
Model |
CY-GZK103-A |
Moleküler pompa |
CY-600 |
Destek pompası |
Döner kanatlı pompa |
Pompalama hızı |
Moleküler pompa: 600L/S |
Kapsamlı gaz pompalama performansı: 30 dakikalık vakum 1,0E-3Pa değerine ulaşabilir |
Döner kanatlı pompa: 1,1 L/S |
Pompalama arayüzü |
KF40 |
Egzoz arabirimi |
KF16 |
Vakum ölçümü |
Bileşik vakum göstergesi: Direnç göstergesi + iyonizasyon göstergesi |
Üstün vakum |
1,0E-5Pa |
Güç kaynağı |
AC: 220V 50 Hz |
NOT:
Deneyin ihtiyaçlarına göre sıcaklığı, sıcaklık bölgesini, fırın boyutunu, vakum sistemini ve debimetreyi seçebilirsiniz
Vakum CVD fırının ilgili fotoğrafları
![1500c Single-Zone High-Vacuum CVD Furnace with 3-Channel Float Flow Meter](//www.micstatic.com/athena/img/transparent.png)
2005 yılında kurulan Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd., laboratuvar teknolojisi araştırma ekipmanlarının geliştirilmesi ve üretimi konusunda uzmanlaşmış bir şirkettir. Ürünler karıştırılır, preslenmiş, yanmış, kesilmiş, taşlıdır, cilalı, kaplamalı, analitik ekipman ve ilgili sarf malzemeleri. Ürünler arasında laboratuvar sinterleme ekipmanı, kaplama ekipmanı ve diğer ürünler yer alır. Şu anda ABD, Avrupa ve Güneydoğu Asya gibi 25 ülke ve bölgeye ihraç edilen ülke, çeşitli bilimsel araştırma birimleri tarafından da iyi karşılandı.
Gelişmiş bir teknoloji araştırma ve geliştirme ekibimiz var, teknisyen sayısı 33, şirketin 150 çalışanı, 500 metrekareden fazla ofis alanı var, fabrika Zhengzhou Yüksek Teknoloji Bölgesi Elektronik Endüstriyel Park'ta bulunan yaklaşık 1,500 metrekarelik bir alanı kapsıyor. Ürünler daha çok araştırma pazarında yer alıyor ve üniversitelerin ve üniversitelerin laboratuvarlarında bilimsel araştırmalar yapıyor ve ürünleri ihtiyaçlarınıza göre özelleştirebiliyor.
S. bir üretici veya ticari şirket misiniz?
A. Profesyonel laboratuvar cihazı üreticiyiz, kendi tasarım ekibi ve fabrikamız var, olgun teknik deneyime sahibiz ve ürünlerin kalitesini ve optimum fiyatı garanti edebiliriz.
S. şirketinizin ürün satış sonrası servis sistemi nasıl?
A. Ürün garanti süresi 12 aydır, ömür boyu bakım sağlayabiliriz. Teknik sorunları çözmek için 24 saat içinde size yanıt verebilecek profesyonel satış öncesi ve satış sonrası departmanlarımız var.
S. Teslimat zamanınız ne kadar? Cihazı özelleştirmek istersem ne kadar sürer?
A. 1. Mallar stokta ise 5-10 gündür. 2.Müşterilerimiz için özelleştirilmiş hizmetler sağlayabiliriz. Özel cihazın teknik özelliklerine bağlı olarak genellikle 30-60 gün sürer.
S. Ülkemizin güç kaynağı ve fişi farklıdır. Nasıl çözüyorsunuz?
A. farklı ülkelerin elektrik fişlerine göre yerel gereksinimlerinize uygun bir transformatör ve fiş tedarik edebiliriz.
S. nasıl ödeme yapılır?
A.T/T, L/C, D/P vb..., Alibaba Ticaret Garantisi'nin kullanılması önerilir.
S. malların paketi nasıl? Teslimat yöntemleri?
A. 1. Standart ihracat fumigation işareti ahşap kutu ambalaj 2. Müşteri gereksinimlerine göre hızlı hava, deniz taşımacılığı, en uygun yolu bulun.
Daha fazla soru için lütfen müşteri hizmetleriyle iletişime geçin