1200c yenilikçi Plazma - Gelişmiş kimyasal buhar Deposition Ekipmanları

• Özelleştirilmiş: Özelleştirilmiş
• Yapı: Masaüstü
• Malzeme: Çelik
• Sertifika: CE, ISO
• Tip: Isıtma Tipi
• ürün adı: kayan rtp boru fırını
• Hayır. Modeli.: CY-OTF-1200X-S2-50SL
• Taşıma Paketi: Wooden Case
• Teknik Özelikler: sliding rtp tube furnace
• Ticari Marka: CYKY
• Menşei: China
• HS Kodu: 85141090
• Üretim Kapasitesi: 100 Sets Per Year

Ürün Açıklaması

Ürün Açıklaması

 

50 mm'lik 1200C derece Maks. Çift Sürgülü Tüp Ocağı PECVD için tüp flanşları
 

Bu ürün, plazmayı gelişmiş döner kimyasal buhar boşaltma sistemidir (döner PECVD). Fırın borusu, değişken çaplı bir tasarıma sahiptir. Orta tüp çapı nispeten kalındır ve toz veya parçacıkları fırın tüpünün rotasyonuyla tekrar tekrar karıştırabilen karıştırma bölümleri vardır. Çalışma tüpü mekanik iletim kontrolü ile kesintisiz olarak 360° döndürülebilir, böylece borudaki malzemeler homojen bir ısıtma etkisi elde etmek için karıştırılabilir ve karıştırılabilir; ekipman ayrıca, fırın tüpüne endüktif kaplin ile bağlanan bir plazma jeneratörle donatılmıştır ve üretilen plazma fırın tüpünü etkili bir şekilde kaplayabilir, reaktanların etkinleştirme enerjisini artırabilir, reaksiyon sıcaklığını azaltabilir ve reaksiyon verimliliğini artırabilir. Ekipman, boruya çeşitli gazlar geçirmek için kullanılabilen üç yollu kütle akış ölçer ve gaz karıştırma cihazıyla donatılmıştır. Aynı zamanda ekipman, fırın borusunu vakuma hızla boşaltabilen yüksek performanslı mekanik bir pompa ile donatılmıştır; pompa ve gaz devresinin işbirliği daha fazla CVD işlemi yapabilir. Döner cihaz, atmosferi korunan bir ortamda toz maddeleri CVD yöntemiyle sürekli olarak kaplamak ve değiştirmek için çok uygundur.  

Döner PECVD tüp fırının teknik parametreleri:

Çift sıcaklık bölgesi tüp fırını	Ürün modeli	CY-O1200-60IIC-R
	Ekipman gücü	3 W
	Fırın borusu malzemesi	Yüksek saflıkta kuvars
	Fırın borusu boyutu	Φ60 * 420 + Φ100 * 360 + Φ60 * 420 mm (Kuvars heteromorfik boru)
	Fırın odası uzunluğu	440 mm
	Isıtma bölgesi uzunluğu	200 mm + 200 mm
	Çalışma sıcaklığı	0 ~ 1150 ºC
	Sıcaklığı sınırla	1200 ºC
	Sıcaklık kontrolü doğruluğu	±1 ºC
	Termokupl tipi	K tipi termokupl
	Sıcaklık kontrol modu	30 segmentli program sıcaklık kontrolü, PID parametresi otomatik ayarlama
	Ekran modu	HD tam renkli LCD dokunmatik ekran
	Sızdırmazlık yöntemi	304 paslanmaz çelik vakum flanşı
	Güç kaynağı	AC: 220V 50 Hz
	Dönüş hızı	0 ~ 13 dev/dak
	Eğim açısı	0 ~ 35°
3 kanallı kütle akış ölçer	Ürün modeli	CY-3Z
	Gaz yolu sayısı	3 kanal
	Debiölçer tipi	Kütle akış ölçer
	Ölçüm aralığı	A kanalı: 0 ~ 100 sccm; B kanalı: 0~200 sccm; C kanalı: 0~500 sccm
	Ölçüm doğruluğu	±%1.5
	Çalışma basıncı farkı	0.1 ~ 0,5 MPa
	Boru hattı arabirimi	1/4 inç yüksfer konektörü
	Güç kaynağı	AC220V 50 Hz
Vakum sistemi	Vakum pompası	Çift aşamalı döner kanatlı pompa
	Pompalama hızı	1,1 L/sn
	Pompalama portu	KF16
	Pompa için üstün vakum	10 E-1 Pa
	Güç kaynağı	AC220V 50 Hz
RF güç kaynağı	Sinyal frekansı	13,56 MHz ± %0.005
	Güç çıkış aralığı	0 ~ 500 W
	Maksimum yansıyan güç	100 W
	RF çıkış arabirimi	50 Ω, N Tipi, dişi
	Güç kararlılığı	≤ 5 W

 

Kayan RTP tüp fırının referans resmi:

Şirket Profili

 

Şirket bilgileri:
  2013 yılında kurulan Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd. , Henan eyaletinin Zhengzhou şehrinde kayıtlı yüksek ve yeni bir teknoloji kuruluşudur.  Laboratuvar cihazlarını temel olarak kesme makinesi, frezeleme makinesi, polisaj makinesi, sinterleme fırını, karıştırma makinesi, torpido gözü, film kaplama makinesi vb.