Adım Litografi Makinesi

• Menşei: China
• Hayır. Modeli.: LSLM-500

Ürün Açıklaması

Ürün  Özellikleri    
  Yüksek   hassasiyet;
   Masaüstü, küçük    boyutlu, dahili bilgisayar
         Endüstri  gereksinimlerini karşılamak için özelleştirilebilir donanım ve yazılım;  
Esneklik     çeşitli taban  ve şekiller için uygundur;

Ürüne  giriş
 LSLM-500  adımlı  litografi  makinesi       , küçük                       silikon yüzeyinde milyonlarca mikroskopik devre bileşeni oluşturabilen entegre devreler (ikler) oluşturmak için kullanılan bir cihazdır
yonga plakaları      , karmaşık bir sürecin önemli bir parçasıdır.
Ana kullanım:         Ölçeği azaltmak için adım litografi kullanılabilir    maskenin alt    tabaka  yüzeyine    Ortaya çıkar.        Geliştirme  ve  üretimde yaygın olarak kullanılabilir  küçük   ve   orta ölçekli   entegre   devreler, yarı iletken  bileşenler   ve   yüzey
kaoin(u)ss(t)ipec(c w) aifivca(e)tdio(e)n(v)s(i):(c)e(.)  maske  deseni           , için aynı oranda 5 kez azaltılabilir
Pozlama; minimum çizgi genişliği: 500 nm;                çeşitli pozitif  ve  negatif  ışık  direnci modelleriyle birlikte çalışabilir.
Sputtering      malzemeleri: Metal      Al, Cu, Gr, Co, Fe, ni, Pt, AG, Ti, ta; Alloy      NiFe, CoFe, CoFeB,
NiMn, FeMn, TbFeCo; MgO oksitler      vb.
Uygulamalar: Küçük   ve   orta ölçekli    entegre   devreler; Yarı iletken    bileşenler;      Yüzey  akustik  dalga  cihazlarının geliştirilmesi ve üretimi;
Spesifikasyon    parametresi

 

Proje	i̇çerik
Yonga  boyutu	Dört inç, altı  inç, sekiz  inç, on iki  inç
Pozlama  ışık  kaynağı	UV LED
Kullanılan ışık kaynağı dalga boyu	365  nm
Güç çözümleniyor	500 nm, 400 nm ve 300  nm   art arda geliştirilmiştir
Odak doğruluğu	150  nm
Ölçek Çarpanı	1:5
Pozlama modu	Adım yansıtma
Unsur  boyutu  eşit dağılımı  (CDU)	±%10
Boyutlar	170  cm * 130  cm * 180  cm