Lsms-160 Manyetron Sputtering Kaplama Makinesi

• After-sales Service: 24 Months
• Warranty: 24 Months
• plaka boyutu: ≤6 Inches
• Taşıma Paketi: Carton
• Teknik Özelikler: 170*130*180
• Ticari Marka: CHHGC
• Hayır. Modeli.: LSMS-160
• Menşei: China
• Üretim Kapasitesi: 5000 Pieces/Year

Ürün Açıklaması

ÜRÜNE GIRIŞ

Amaç: Için sputtering yöntemi kullanma

üzerine birkaç mikron ince film yerleştirin

çeşitli dahil olmak üzere numunenin yüzeyi

metaller, yarı iletkenler, ferromanyetik

malzemeler ve ayrıca yalıtım oksitleri,

seramik ve diğer malzemeler.
ÜRÜN PARAMETRESI

Plaka boyutu

≤ 6 inç

Vakum derecesi

10 -8 Torr

Kalınlık eşit dağılım hatası

%5

Dikiş kalınlığı

0-300 nm

Püskürtme malzemesi

Al, Cu, Gr, Co, Fe, Ni, Pt, AG, TiO2, NiFe ve NiMn vb.

Boyut

170 cm * 130 cm * 180 cm