Temas Maruziyeti Makinesi

• Teknik Özelikler: 170cm*130cm*180cm
• Ticari Marka: CRT
• Menşei: China
• Hayır. Modeli.: LSCE-800

Ürün Açıklaması

Ürün Özellikleri    
·  Çözünürlük     oldukça   doğrudur;
     Daha geniş bir UV  dalga boyu seçimi aralığı;
  Sabit ışık  yoğunluğu veya sabit  güç   modunu destekler;
    Yarı iletkende yaygın olarak kullanılır,
mikroelektronik, biyolojik cihazlar   ve  nanoteknoloji alanları;

Ürüne  giriş   
LSCE-800 temas maruziyeti makinesi  , maske  plakasının     doğrudan alt tabakanın fotorezist katmanıyla temas ettiği ve açıktaki figürün       maske plakasındaki şekil ile yüksek çözünürlük hassasiyetine sahip olduğu anlamına gelir. Ekipman  basittir ve  çizgi genişliği  800 nm'ye ulaşabilir;      çeşitli pozitif  ve  negatif  fotorezist modelleri vardır Birlikte kullanılabilir;             özel  boyutlu  alt tabakalardan      4  farklı boyutta çok çeşitli malzemelere kadar uzanan malzemelerin ultraviyole veya derin ultraviyole ışınlarına maruz kalması için uygundur.      Yarı iletken üretiminde, optoelektronik, düz plaka, RF mikrodalga fırında, difraktif optiklerde, MEMS'de, kontrabatör konveks  veya kristal kaplama ekipmanlarında ve diğer uygulamalarda yaygın olarak kullanılabilir.
 Uygulama alanı   
Yarı iletken  üretimi; optoelektronik, düz  panel; Radyo  frekanslı  mikrodalga fırın, kırınım  optikleri;  MEMS; kontrabatör konveks veya kaplamalı kristal ekipman.

Spesifikasyon parametresi    
 

Proje	i̇çerik
Yonga  boyutu	Dört inç, altı  inç, sekiz  inç
Pozlama  ışık  kaynağı	365 nm, 380 nm, 395 nm üç dalga boyunda LED entegre  ight  kaynağı
Güç çözümleniyor	3 μm
Hizalama doğruluğu	300  nm
Ölçek Çarpanı	1:5
Pozlama modu	Temas maruziyeti
Unsur boyutu  eşitliği	±%10
Boyut	170  cm * 130  cm * 180  cm