CAS No.: | 2551-62-4 |
---|---|
Formula: | Sf6 |
EINECS: | 219-854-2 |
Constituent: | Industrial Pure Air |
Grade Standard: | Electronic Grade |
Chemical Property: | Non-Flammable Gas |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Sülfür heksaflorür (Esaflon, heksafluorüredesoufre) oda sıcaklığında ve basıncında renksiz, kokusuz, toksik olmayan ve yanmaz bir gazdır. Sülfür heksaflorür, su ve yağda hafif oranda çözünebilir.
SH6, Analiz % | ≥ 99.9 | 99.999 | ||||||||
N2, ppm | ≤ 3 | 3 | ||||||||
O2+AR, ppm | ≤ 3 | 3 | ||||||||
CO , ppm | ≤ 0.5 | 0.5 | ||||||||
CO2 , ppm | ≤ 0.5 | 0.5 | ||||||||
CF4 , ppm | ≤ 0.5 | 0.5 | ||||||||
CH4 , ppm | ≤ 0.2 | 0.2 | ||||||||
H2O, ppm | ≤ 2 | 2 | ||||||||
Asitlik (HF olarak), ppm | ≤ 0.3 | 0.3 |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler