Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Denetlenen Tedarikçi
| Jinan ACME MW1070 MPCVD makine | ||
| Vakum | Vakum ölçümü | Piezo dirençli gösterge 0.1-100kpa Kapasitans göstergesi 0-1000Pa |
| Çalışma basıncı aralığı | 4 Kpa | |
| Vakum sızıntı oranı | ≤ 5 * 10 Pa.M3/S (O kaçak tespiti) | |
| Basınç kontrolü | Otomatik Kontrol | |
| Boşluk malzemesi | Alüminyum alaşım uyarma odası, kuvars vakum odası | |
| Gözlem penceresi | 10 mm çaplı sıcaklık ölçüm deliği ve gözlem penceresi delikli | |
| Soğutma modu | Soğutma modu | Su soğutma + hazne hava soğutma |
| Örnek tablo boyutu | Molibden kademe Φ 70 mm, tek tip alan Φ 50 mm | |
| Sıcaklık ölçümü | Kızılötesi termometre, aralık 300-1400 ºC | |
| Soğutma suyu akışı | 50 L/dak | |
| Soğutma suyu sıcaklığı | 20 ºC | |
| Soğutma suyu arabirimi | 1 inç dış kablo arabirimi | |
| İşletim sistemi | İşletim sistemi | PLC kontrolü, 15 inç dokunmatik ekran kontrolü |
| İşlem Menüsü | 10 i̇şlem menüsü, her biri için 25 satır | |
| Mikrodalga ve güç kaynağı | Mikrodalga frekansı | 2.45 ± 0,1 GHz |
| Çıkış gücü | 1.5-7,5Kw (10kw ev tipi mikrodalga güç kaynağı ile donatılmıştır) | |
| Giriş gücü elektrik | 380 AC/50 Hz, üç fazlı beş kablo (3 * 10 + 2 * 6 güç hattı), > 15 kW | |
| Mikrodalga sızıntı hızı | Mikrodalga sızıntı hızı ekipmandan 5 cm veya daha fazla mesafede | |
| Proses gazı | Debiölçer ve arabirim | H2 (1000SCCM) CH4 (50SCCM) N2 (10SCCM) O2 (10SCCM) 1/4 INÇ VCR Dişi basınçlı hava 8 mm PU boru hızlı fiş |
| Debimetre, ile kullanılan gaz tipini değiştirebilir yazılım | ||
| Hava besleme basıncı | 0.3 MPa | |
| Basınçlı hava basıncı | 0.5 MPa | |
| Vakum pompası | Döner kanatlı vakum pompası | Yağ pompası |
| Pompalama hızı | 4 L/SN | |
| Güç kaynağı | AC 380 V (±%10) | |
| Arabirim | Hava çıkışı KF25, hava çıkışı KF25 | |
| Çalışma ortamı | Ortam sıcaklığı ve nem | Oda sıcaklığı 26 ºC'nin altında ve nem oranı %40'den düşük |
| Ekipmanın genel boyutları | Boyut | 1250 (U) × 800 (G) × 2100 (Y) MM |
| Ekipmanın görünümü | ||
| Ekipman kabul koşulları: | 1.Ekipman kurulumu: Ekipman kurulumu tamamlandıktan sonra, A ve B Partisi tesis içi devreye alma işlemini yürütür ve B Partisi teknisyenleri A Partisinden sorumlu kişi için ekipman kullanımı, güvenlik ve bakım eğitimi yürütür | |
| 2.Sistem testi: Sistem normal şekilde başlatılabiliyor ve çalıştırılabiliyor ve yerinden çıkmış ateş topu atlamadan sabit. | ||
| 3. Mikrodalga sızıntısı: Mikrodalga sızıntısı 5mW/cm2'den azdır (mikrodalga kaynağının çıkış gücü %80'den, ekipmandan 10 cm uzaktır) | ||
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Denetlenen Tedarikçi 
