6kw 10kw 15kw Mikrodalga Plazma Mpcvd Monokristal Polikristal Elmas Yapma Büyütme Büyüme Makinesi CVD Elmas Büyütme Laboratuvarı Elmas Makinesi

Ürün Ayrıntıları
Özelleştirme: Mevcut
Satış Sonrası Hizmet: 24 saat satış sonrası servis
Garanti: 1 yıl
Elmas Üye Fiyat 2020

Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler

Denetlenen Tedarikçi

Bağımsız bir üçüncü taraf teftiş kuruluşu tarafından denetlenmiştir

İthalatçılar ve İhracatçılar
Tedarikçinin ithalat ve ihracat hakları vardır
Yılların İhracat Tecrübesi
Tedarikçinin ihracat tecrübesi 10 yıldan fazladır
Stok Kapasitesi
Tedarikçinin stok kapasitesi var
Hızlı teslimat
Tedarikçi malları 30 gün içinde teslim edebilir
Doğrulanmış tüm güç etiketlerini (13) görmek için
  • 6kw 10kw 15kw Mikrodalga Plazma Mpcvd Monokristal Polikristal Elmas Yapma Büyütme Büyüme Makinesi CVD Elmas Büyütme Laboratuvarı Elmas Makinesi
  • 6kw 10kw 15kw Mikrodalga Plazma Mpcvd Monokristal Polikristal Elmas Yapma Büyütme Büyüme Makinesi CVD Elmas Büyütme Laboratuvarı Elmas Makinesi
  • 6kw 10kw 15kw Mikrodalga Plazma Mpcvd Monokristal Polikristal Elmas Yapma Büyütme Büyüme Makinesi CVD Elmas Büyütme Laboratuvarı Elmas Makinesi
  • 6kw 10kw 15kw Mikrodalga Plazma Mpcvd Monokristal Polikristal Elmas Yapma Büyütme Büyüme Makinesi CVD Elmas Büyütme Laboratuvarı Elmas Makinesi
  • 6kw 10kw 15kw Mikrodalga Plazma Mpcvd Monokristal Polikristal Elmas Yapma Büyütme Büyüme Makinesi CVD Elmas Büyütme Laboratuvarı Elmas Makinesi
  • 6kw 10kw 15kw Mikrodalga Plazma Mpcvd Monokristal Polikristal Elmas Yapma Büyütme Büyüme Makinesi CVD Elmas Büyütme Laboratuvarı Elmas Makinesi
Benzer Ürünleri Bul

Temel bilgiler.

Hayır. Modeli.
ACME-MW1070
Uygulama
Endüstri, Laboratuvar
Özelleştirilmiş
Özelleştirilmiş
Sertifika
CE, ISO
Yapı
Masaüstü
Malzeme
Alaşım
Tip
şambasi
vakum
otomatik kontrol
soğutma modu
su soğutma + hazne hava soğutma
i̇şletim sistemi
plc kontrolü, 15 inç dokunmatik ekran kontrolü
mikrodalga ve güç kaynağı
10 kw ev tipi mikrodalga güç kaynağı ile donatılmıştır
proses gazı
h2 (1000 sccm) ch4 (50 sccm) n2 (10 sccm) o2 (10 sccm)
vakum pompası
yağ pompası
Taşıma Paketi
ahşap kutu
Teknik Özelikler
6 kw/10 kw/15 kw
Ticari Marka
acme (acme
Menşei
Çin
HS Kodu
8486202100
Üretim Kapasitesi
50 adet/ay

Ürün Açıklaması

6kw 10kw 15kw Microwave Plasma Mpcvd Mono Crystal/Polycrystalline Dimond Making/Growing/Growth Machine for CVD Diamond Growth Lab Diamond Machine6kw 10kw 15kw Microwave Plasma Mpcvd Mono Crystal/Polycrystalline Dimond Making/Growing/Growth Machine for CVD Diamond Growth Lab Diamond Machine6kw 10kw 15kw Microwave Plasma Mpcvd Mono Crystal/Polycrystalline Dimond Making/Growing/Growth Machine for CVD Diamond Growth Lab Diamond Machine6kw 10kw 15kw Microwave Plasma Mpcvd Mono Crystal/Polycrystalline Dimond Making/Growing/Growth Machine for CVD Diamond Growth Lab Diamond Machine6kw 10kw 15kw Microwave Plasma Mpcvd Mono Crystal/Polycrystalline Dimond Making/Growing/Growth Machine for CVD Diamond Growth Lab Diamond Machine
Mikrodalga Plazma (MPCVD) cihazının Parametre Açıklaması


1.ekipmana Giriş

ACME-2060, 6 kW mikrodalga plazma kimyasal buhar boşaltma (MPCVD) ekipmanı, kullanıcıların özel gereksinimlerini karşılamak üzere tasarlanmış ve geliştirilmiş çok amaçlı, yüksek stabiliteli, orta basınçlı mikrodalga plazma (MPCVD) kapsamlı bir işleme ekipmanıdır. Gelişmiş performans, eksiksiz işlevler, makul yapı, rahat kullanım, güvenlik ve güvenilirlik özelliklerine sahiptir, Ve güzel görünüm, özellikle tek kristal ve polikristalli elmas filmlerin kimyasal buhar deposition'u (CVD) ve elmas benzeri filmler için uygundur; Malzeme yüzey işleme ve modifikasyonu; düşük sıcaklıklı oksitler ve diğer alanların büyümesi. Sistem şematik şeması ve boyut şeması aşağıdaki gibidir:

2.ekipmanın yapısı ve temel özellikleri:

2.1.Mikrodalga güç kaynağı

Sistem 6 kW/2450 MHz anahtar tipi mikrodalga güç kaynağı kullanır. Mikrodalga gücü sürekli olarak 0.5 ile 6 kW arasında ayarlanabilir; ±%1'den daha iyi stabilite; dalgacık derecesi, iyi kontrol performansı ile %2'den daha iyidir; PLC, kolay kontrol sağlar; gelişmiş manyetron filament gerilim azaltma izleme teknolojisi ve yüksek hassasiyetli manyetik alan geri bildirim ayarı ve stabilite teknolojisini kullanır; Uzun çalışma ömrü, mükemmel elektrik performansı, güvenlik ve güvenilirlik ile basit ve rahat kullanım sağlayan kapsamlı bir hat güvenlik kilitleme kontrol sistemi benimsedik.

2.2.dalga kılavuzu aktarım birimi

Sistem, yüksek performanslı bir mikrodalga sirke, üç pimli mikserden, yansıyan dalga örneklemeli su yükünden ve bağlı dalga kılavuzu segmenti dalga kılavuzundan oluşan mükemmel bir mikrodalga iletim sistemi kullanır. Manyetrondan yansıyan dalganın iyi bir şekilde izole edilmesini sağlayarak, dengeli çalışmasını sağlar. Ayrıca plazma yükü değiştiğinde optimum eşleşmeyi kolayca ayarlayarak mikrodalga gücünün optimum iletimini sağlar. Yansıyan dalga örneklemesi ile yansıyan güç ve gerçek zamanlı çalışma durumu dijital olarak görüntülenir.

2.3.Mod Dönüştürme ve Enjeksiyon Alt Mikrodalga Bağlantı boşluğu

Bu, TM modunda çalışan silindirik boşluklardan, ayarlanabilir koaksiyel bağlantı problarına sahip geçit düğmesi koaksiyel dalga kılavuzu kuplörlerinden ve plaka kuvars pencerelerinden oluşan, nispeten olgun olan yeni nesil mikrodalga plazma kuplaj boşluklarından oluşur. Dalga kılavuzu kısa devre pistonunu ve koaksiyel kuplaj probunu ayarlayarak, mikrodalga gücü geniş bir çalışma aralığında plazma deşarj boşluğuna etkili bir şekilde bağlanabilir ve yüksek yoğunluklu, yüksek iyonizasyon derecesi ve geniş alan tek tip ve dengeli mikrodalga deşarjı elde edilebilir. Dengeli çalışma sağlamak için çift katmanlı su soğutmalı boşluklu duvar kullanır.

2.4.çok portlu plazma deşarj boşluğu

Bu sistem, paslanmaz çelikten kaynaklanmış çift katmanlı su soğutmalı yapıya sahip büyük hacimli bir tahliye odasına sahiptir ve üst uç, silindirik boşluğun devamı olan mikrodalga reaksiyon odasına bağlıdır. Ayrıca aşağıdaki işlevsel bağlantı noktalarına sahiptir:

1) boşluğun önüne, 50 mm'den az olmayan substrat numunelerinin boşaltılmasını kolaylaştırabilecek ve çalışma sırasında boşluktaki deşarj işlemini net bir şekilde gözlemleyecek bir ızgara mikrodalga koruma penceresi ile donatılmış bir döner kapı tipi besleme ve boşaltma penceresi kurulmuştur. Kızılötesi sıcaklık ölçümü, 300-1400 ºC'de alt tabaka sıcaklık ölçümü için kullanılır

2) Ana karıştırma ve şişirme boru hatlarının yanı sıra substrat yakınındaki şişirme halkasını ve çift katmanlı gaz besleme sistemi oluşturmak için yardımcı bir şişirme boru hattını sağlamak için özel olarak tasarlanmış bir şişirme flanşı kullanılır.

Yukarıdaki tasarım, bu portun su soğutmalı tahliye bölmesinin özellikle küçük ölçekli plazma işleme ihtiyaçları için uygun olan büyük hacimli ve eksiksiz fonksiyonlara sahip olmasını sağlar.

2.5.Numune tutucu ayarı

Bu cihaz, basit, güvenilir ve kontrolü kolay olan plazma deşarj alanının optimum durumunu elde etmek için kavite plakası ve numune substratı aşamalarını elektriksel olarak sürekli olarak ayarlayabilir. Çeşitli plazma işleme süreçlerinin gereksinimlerini karşılayabilir.

2.6.vakum elde etme ve ölçüm

Sistem, pompalama sistemi olarak 8 L/sn pompalama hızına sahip bir vakum pompası kullanır ve 6x10-1Pa'dan daha iyi bir vakuma sahiptir. Sistem, atmosferden 10 Pa'ya kadar orta ve düşük basınç ölçüm göstergeleri ve 100 Pa - 100 kPa arası basınç direnci vakum göstergeleriyle donatılmıştır. Ölçüm cihazları, kolay kontrol ve okuma için kabine yerleştirilmiştir.

Statik sızdırmazlık, silikon kauçuk ve metal sızdırmazlık kullanır; dinamik sızdırmazlık elemanı, metal oluklu boru yapısı kullanır. Çalışma basıncı kontrolü, sabit hava basıncı kontrolü ve rahat ayarlama ile yüksek hassasiyetli valfler ve kontrol cihazları kullanılarak tamamlanır.

2.7.çok kanallı gaz kütle akış kontrolü (MFC)

MPCVD'nin proses gereksinimlerini sağlamak için sistem, H2 (1SLM), CH4 (100SCCM), O2 (50SCCM) ve N2 (50SCCM)'den oluşan 4 yollu bir gaz kütle akış kontrol sistemi besleme ve kontrol sistemi (MFC) kullanır. Sistem, ekipman kabininde bulunan, kısa, kompakt ve kolay kontrol ve ayar özelliğine sahip güvenilir bir 1/4 inç VCR arabirimi kullanır.

2.8.Kontrol sistemi ve kabin
Sistem, kompakt ve kısa bir ana yapının yanı sıra bağımsız kontrol üniteleri benimser. PLC ve dokunmatik ekranlı çoklu parametre kontrolü sayesinde tüm ekipman güzel bir görünüme ve kolay ve güvenilir bir çalışmaya sahiptir. Ana kontrol kabini aşırı akım, aşırı ısınma, su kesintisi ve güç ve arıza göstergeleri için otomatik koruma ile donatılmıştır. Mikro dalga sızıntısı ulusal standartlara göre daha üstündür.

3.ekipmanın genel teknik parametreleri

1) Mikrodalga kaynak ve sistem

Çalışma frekansı: 2450 ± 50 MHz

Çıkış gücü: 0.5 ~ 6 kW sürekli ayarlanabilir

Güç kararlılığı: ±%1'den daha iyi (nominal güç seviyesinde)

Dalgalanma derecesi: ±%2'den daha iyi

Kontrol yöntemi: PLC kontrolü, dokunmatik ekran çalışması

Çıkış dalga kılavuzu arabirimi: FD-26, 22 standart flanşlı BJ-26, 22

Giriş güç kaynağı: 380 VAC/50 Hz, üç fazlı dört kablo, ayrı topraklama kablosu, 8 kW

Soğutma suyu akış hızı: 6 L/dak

Sistem ayakta dalga katsayısı: VSWR ≤ 1.5

Mikrodalga sızıntısı: ≤ 2mW/cm2 (ulusal standart GB10436-89'den daha iyi)

2) Mikrodalga vakum deşarj boşluğu

Boyut ve çalışma modu: Φ 200 x 300(H)TM modu

3) vakum elde etme: 8 L/sn vakum pompası

En yüksek vakum derecesi 6x10-1Pa'dan daha iyidir

4) Gaz kütle akış hızı: 4 yönlü MFC (gaz tipi ve aralığı kullanıcı tarafından belirlenebilir) H2 (1SLM), CH4 (100SCCM), O2 (50SCCM), N2 (50SCCM)

5) Numune aşaması cihazı: Numune aşaması çapı Φ 60 mm, su soğutmalı yapı;

Elektrikli kaldırma ayarı mesafesi: 0-80 mm

6) Alt tabaka sıcaklık ölçümü: Kızılötesi sıcaklık ölçüm aralığı 300~1400 ºC (monokromatik)

7) Toplam güç kaynağı: 380 VAC ± %5 / 50 Hz, üç fazlı dört kablo, ayrı topraklama kablosu, 10 kW

8) Toplam soğutma suyu: 15 L/dak, temiz yumuşak su, giriş suyu sıcaklığı 20 ºC ± 5 ºC;

9) Dış boyutlar: ~ 1.85 (U) x 0.9 (G) x 1.85 (Y) m

10) Çalışma teknik parametreleri:

(1) sistemin plazma deşarj alanı Φ 50mm çapından az değildir; sapmasız kararlı deşarj;

(2) Çalışma sıcaklığı: 600~1200 ºC (kızılötesi sıcaklık ölçümü);

(3) Çalışma basıncı: 1 kPa ~ 25 kPa;

(4) Uzun süreli (> 24 saat), ayarlanan çıkış gücü, gaz akış hızı ve basınç koşulları altında sürekli ve kararlı çalışma sağlayın.

4.Ekipman yapısı ve yapılandırması
 
  1. Yapılandırma Listesi
 
HAYIR Parça adı Model MIKTAR Açıklama
1 Programlanabilir mikrodalga kaynağı 6 kW/2450 MHz 1  
1-1 Manyetron PM60AL 1 Panasonic, Japonya
2 Mikrodalga iletimi BJ-26 sirke, pim karıştırıcı, su yükü, geçiş dalga kılavuzu vb. 1 Chengdu
3 Mod dönüştürücü ve Mikrodalga kaplin boşluğu TE10 - TM013 1 Chengdu
4 Plazma çalışma boşluğu Şişirilebilir flanşlar, kuvars pencereler ve bağlantı noktaları içerir. 1 ACME (ACME
5 Numune aşaması ve ayarı Elektrikli sürekli kaldırma ayarı    
6 Vakum çekimi Vakum toplama vakum pompası, valf, boru hattı ve vakum ölçüm sistemi 1 ACME (ACME
6-1 Vakum pompası 8 L/sn 1 Zhongke Keyi veya Feiyue
6-2 Vakum ölçümü Vakum göstergesi 1 ŞİKON
6-3 Çalışma basıncı kontrolü Basınç düzenleme valfi ve deneteç 1 ACME (ACME
7 Gaz MFC ünitesi 4 yollu kütle akış kontrolü ve valfler. 1 ORİBA
 
8 Kızılötesi termometre 300 ~ 1400 ºC 1 Kentech
9 Ana kontrol ünitesi PLC ana kontrolü, 10 inç dokunmatik çalışma ekranı ve kabin 1 Siemens
 
 
  1. Yedek parça listesi
HAYIR Parça adı Model MIKTAR Açıklama
1 Kuvars penceresi D140 x 15 mm 1  
2 Kuvars camlar için metal ve kauçuk sızdırmazlık halkaları   1  
Not: Tüm ekipman bir yıl garanti edilir (üretici tarafından garanti edilen manyetron tüpüyle).

3, Ekipman kabul standartları:

1). Sınır basınç: Harici bir vakum göstergesi tarafından ölçülen sınır basınç 1.0 x 10 - 2Torr'dan az olmalıdır (vakum pompası tarafından sürekli pompalama işleminin ardından 20 dakika içinde);

2). Vakum sızıntı oranı: Vakum odasının sızıntı oranı 100 mtorr/sa'dan az olmalıdır (basıncı 10 saatten uzun süre tutma)

3). MW radyasyon: Mikrodalga ölçüm cihazı tarafından ölçülen mikrodalga radyasyonu 2 mW/cm2'den az olmalıdır (5.0 kW'ta test edilmiştir)

4). Kaçak: Su borusunda kaçak olmadığını kontrol ediniz

5). Güvenlik kilidi: Her kilitleme eyleminin doğru olduğunu onaylayın

6). Sistem testi: Sistem başlatma ve çalışma fonksiyonu testi

7). Polikristalli elmas büyümesi: Polikristalli elmas büyümesi 2 inç si plakalarda 24 saatten uzun süre test edilmiştir ve numune yüzeyindeki elmas dağılımı, nitrojen boşalmasıyla ilgili kirlilik tepe noktaları olmadan birdendir. Büyümüş si yonga plakaları üretici tarafından sağlandı.

8). Ekipman, elmas tekli kristaller veya polikristaller üretmek için 2 saat boyunca sürekli çalışır ve saatte 72 mikrometre büyüme hızına sahip olur.
 

Sorgunuzu doğrudan bu sağlayıcıya gönderin

*İtibaren:
*Şuradan:
*Mesaj:

Lütfen 20 ila 4000 karakter arasında girin.

Aradığınız şey bu değil? Satın Alma talebini Şimdi Yayınla
İletişim Tedarikçi

Kategoriye Göre Benzer Ürünleri Bulun

Tedarikçi Ana Sayfası Ürünler MPCVD 6kw 10kw 15kw Mikrodalga Plazma Mpcvd Monokristal Polikristal Elmas Yapma Büyütme Büyüme Makinesi CVD Elmas Büyütme Laboratuvarı Elmas Makinesi