Temel bilgiler
Hayır. Modeli.
ACME-MW1070
Satış Sonrası Hizmet
24 Hours After Sales Service
Uygulama
Endüstri, Laboratuvar
Özelleştirilmiş
Özelleştirilmiş
Cooling Mode
Water Cooling+Chamber Air Cooling
Operating System
PLC Control, 15 Inch Touch Screen Control
Microwave and Power Supply
Equipped with 10kw Domestic Microwave Power Supply
Process Gas
H2 (1000sccm) CH4 (50sccm) N2 (10sccm) O2 (10sccm)
Teknik Özelikler
6 kw/10 kw/15 kw
Ürün Açıklaması
Ürün Açıklaması
Teknik özellik
Mikrodalga Plazma (MPCVD) cihazının Parametre Açıklaması
1.ekipmana Giriş ACME-2060, 6 kW mikrodalga plazma kimyasal buhar boşaltma (MPCVD) ekipmanı, kullanıcıların özel gereksinimlerini karşılamak üzere tasarlanmış ve geliştirilmiş çok amaçlı, yüksek stabiliteli, orta basınçlı mikrodalga plazma (MPCVD) kapsamlı bir işleme ekipmanıdır. Gelişmiş performans, eksiksiz işlevler, makul yapı, rahat kullanım, güvenlik ve güvenilirlik özelliklerine sahiptir, Ve güzel görünüm, özellikle tek kristal ve polikristalli elmas filmlerin kimyasal buhar deposition'u (CVD) ve elmas benzeri filmler için uygundur; Malzeme yüzey işleme ve modifikasyonu; düşük sıcaklıklı oksitler ve diğer alanların büyümesi. Sistem şematik şeması ve boyut şeması aşağıdaki gibidir: 2.ekipmanın yapısı ve temel özellikleri: 2.1.Mikrodalga güç kaynağı Sistem 6 kW/2450 MHz anahtar tipi mikrodalga güç kaynağı kullanır. Mikrodalga gücü sürekli olarak 0.5 ile 6 kW arasında ayarlanabilir; ±%1'den daha iyi stabilite; dalgacık derecesi, iyi kontrol performansı ile %2'den daha iyidir; PLC, kolay kontrol sağlar; gelişmiş manyetron filament gerilim azaltma izleme teknolojisi ve yüksek hassasiyetli manyetik alan geri bildirim ayarı ve stabilite teknolojisini kullanır; Uzun çalışma ömrü, mükemmel elektrik performansı, güvenlik ve güvenilirlik ile basit ve rahat kullanım sağlayan kapsamlı bir hat güvenlik kilitleme kontrol sistemi benimsedik. 2.2.dalga kılavuzu aktarım birimi Sistem, yüksek performanslı bir mikrodalga sirke, üç pimli mikserden, yansıyan dalga örneklemeli su yükünden ve bağlı dalga kılavuzu segmenti dalga kılavuzundan oluşan mükemmel bir mikrodalga iletim sistemi kullanır. Manyetrondan yansıyan dalganın iyi bir şekilde izole edilmesini sağlayarak, dengeli çalışmasını sağlar. Ayrıca plazma yükü değiştiğinde optimum eşleşmeyi kolayca ayarlayarak mikrodalga gücünün optimum iletimini sağlar. Yansıyan dalga örneklemesi ile yansıyan güç ve gerçek zamanlı çalışma durumu dijital olarak görüntülenir. 2.3.Mod Dönüştürme ve Enjeksiyon Alt Mikrodalga Bağlantı boşluğu Bu, TM modunda çalışan silindirik boşluklardan, ayarlanabilir koaksiyel bağlantı problarına sahip geçit düğmesi koaksiyel dalga kılavuzu kuplörlerinden ve plaka kuvars pencerelerinden oluşan, nispeten olgun olan yeni nesil mikrodalga plazma kuplaj boşluklarından oluşur. Dalga kılavuzu kısa devre pistonunu ve koaksiyel kuplaj probunu ayarlayarak, mikrodalga gücü geniş bir çalışma aralığında plazma deşarj boşluğuna etkili bir şekilde bağlanabilir ve yüksek yoğunluklu, yüksek iyonizasyon derecesi ve geniş alan tek tip ve dengeli mikrodalga deşarjı elde edilebilir. Dengeli çalışma sağlamak için çift katmanlı su soğutmalı boşluklu duvar kullanır. 2.4.çok portlu plazma deşarj boşluğu Bu sistem, paslanmaz çelikten kaynaklanmış çift katmanlı su soğutmalı yapıya sahip büyük hacimli bir tahliye odasına sahiptir ve üst uç, silindirik boşluğun devamı olan mikrodalga reaksiyon odasına bağlıdır. Ayrıca aşağıdaki işlevsel bağlantı noktalarına sahiptir: 1) boşluğun önüne, 50 mm'den az olmayan substrat numunelerinin boşaltılmasını kolaylaştırabilecek ve çalışma sırasında boşluktaki deşarj işlemini net bir şekilde gözlemleyecek bir ızgara mikrodalga koruma penceresi ile donatılmış bir döner kapı tipi besleme ve boşaltma penceresi kurulmuştur. Kızılötesi sıcaklık ölçümü, 300-1400 ºC'de alt tabaka sıcaklık ölçümü için kullanılır 2) Ana karıştırma ve şişirme boru hatlarının yanı sıra substrat yakınındaki şişirme halkasını ve çift katmanlı gaz besleme sistemi oluşturmak için yardımcı bir şişirme boru hattını sağlamak için özel olarak tasarlanmış bir şişirme flanşı kullanılır. Yukarıdaki tasarım, bu portun su soğutmalı tahliye bölmesinin özellikle küçük ölçekli plazma işleme ihtiyaçları için uygun olan büyük hacimli ve eksiksiz fonksiyonlara sahip olmasını sağlar. 2.5.Numune tutucu ayarı Bu cihaz, basit, güvenilir ve kontrolü kolay olan plazma deşarj alanının optimum durumunu elde etmek için kavite plakası ve numune substratı aşamalarını elektriksel olarak sürekli olarak ayarlayabilir. Çeşitli plazma işleme süreçlerinin gereksinimlerini karşılayabilir. 2.6.vakum elde etme ve ölçüm Sistem, pompalama sistemi olarak 8 L/sn pompalama hızına sahip bir vakum pompası kullanır ve 6x10-1Pa'dan daha iyi bir vakuma sahiptir. Sistem, atmosferden 10 Pa'ya kadar orta ve düşük basınç ölçüm göstergeleri ve 100 Pa - 100 kPa arası basınç direnci vakum göstergeleriyle donatılmıştır. Ölçüm cihazları, kolay kontrol ve okuma için kabine yerleştirilmiştir. Statik sızdırmazlık, silikon kauçuk ve metal sızdırmazlık kullanır; dinamik sızdırmazlık elemanı, metal oluklu boru yapısı kullanır. Çalışma basıncı kontrolü, sabit hava basıncı kontrolü ve rahat ayarlama ile yüksek hassasiyetli valfler ve kontrol cihazları kullanılarak tamamlanır. 2.7.çok kanallı gaz kütle akış kontrolü (MFC) MPCVD'nin proses gereksinimlerini sağlamak için sistem, H2 (1SLM), CH4 (100SCCM), O2 (50SCCM) ve N2 (50SCCM)'den oluşan 4 yollu bir gaz kütle akış kontrol sistemi besleme ve kontrol sistemi (MFC) kullanır. Sistem, ekipman kabininde bulunan, kısa, kompakt ve kolay kontrol ve ayar özelliğine sahip güvenilir bir 1/4 inç VCR arabirimi kullanır. 2.8.Kontrol sistemi ve kabin Sistem, kompakt ve kısa bir ana yapının yanı sıra bağımsız kontrol üniteleri benimser. PLC ve dokunmatik ekranlı çoklu parametre kontrolü sayesinde tüm ekipman güzel bir görünüme ve kolay ve güvenilir bir çalışmaya sahiptir. Ana kontrol kabini aşırı akım, aşırı ısınma, su kesintisi ve güç ve arıza göstergeleri için otomatik koruma ile donatılmıştır. Mikro dalga sızıntısı ulusal standartlara göre daha üstündür. 3.ekipmanın genel teknik parametreleri 1) Mikrodalga kaynak ve sistem Çalışma frekansı: 2450 ± 50 MHz Çıkış gücü: 0.5 ~ 6 kW sürekli ayarlanabilir Güç kararlılığı: ±%1'den daha iyi (nominal güç seviyesinde) Dalgalanma derecesi: ±%2'den daha iyi Kontrol yöntemi: PLC kontrolü, dokunmatik ekran çalışması Çıkış dalga kılavuzu arabirimi: FD-26, 22 standart flanşlı BJ-26, 22 Giriş güç kaynağı: 380 VAC/50 Hz, üç fazlı dört kablo, ayrı topraklama kablosu, 8 kW Soğutma suyu akış hızı: 6 L/dak Sistem ayakta dalga katsayısı: VSWR ≤ 1.5 Mikrodalga sızıntısı: ≤ 2mW/cm2 (ulusal standart GB10436-89'den daha iyi) 2) Mikrodalga vakum deşarj boşluğu Boyut ve çalışma modu: Φ 200 x 300(H)TM modu 3) vakum elde etme: 8 L/sn vakum pompası En yüksek vakum derecesi 6x10-1Pa'dan daha iyidir 4) Gaz kütle akış hızı: 4 yönlü MFC (gaz tipi ve aralığı kullanıcı tarafından belirlenebilir) H2 (1SLM), CH4 (100SCCM), O2 (50SCCM), N2 (50SCCM) 5) Numune aşaması cihazı: Numune aşaması çapı Φ 60 mm, su soğutmalı yapı; Elektrikli kaldırma ayarı mesafesi: 0-80 mm 6) Alt tabaka sıcaklık ölçümü: Kızılötesi sıcaklık ölçüm aralığı 300~1400 ºC (monokromatik) 7) Toplam güç kaynağı: 380 VAC ± %5 / 50 Hz, üç fazlı dört kablo, ayrı topraklama kablosu, 10 kW 8) Toplam soğutma suyu: 15 L/dak, temiz yumuşak su, giriş suyu sıcaklığı 20 ºC ± 5 ºC; 9) Dış boyutlar: ~ 1.85 (U) x 0.9 (G) x 1.85 (Y) m 10) Çalışma teknik parametreleri: (1) sistemin plazma deşarj alanı Φ 50mm çapından az değildir; sapmasız kararlı deşarj; (2) Çalışma sıcaklığı: 600~1200 ºC (kızılötesi sıcaklık ölçümü); (3) Çalışma basıncı: 1 kPa ~ 25 kPa; (4) Uzun süreli (> 24 saat), ayarlanan çıkış gücü, gaz akış hızı ve basınç koşulları altında sürekli ve kararlı çalışma sağlayın. 4.Ekipman yapısı ve yapılandırması - Yapılandırma Listesi
| HAYIR | Parça adı | Model | MIKTAR | Açıklama |
| 1 | Programlanabilir mikrodalga kaynağı | 6 kW/2450 MHz | 1 | |
| 1-1 | Manyetron | PM60AL | 1 | Panasonic, Japonya |
| 2 | Mikrodalga iletimi | BJ-26 sirke, pim karıştırıcı, su yükü, geçiş dalga kılavuzu vb. | 1 | Chengdu |
| 3 | Mod dönüştürücü ve Mikrodalga kaplin boşluğu | TE10 - TM013 | 1 | Chengdu |
| 4 | Plazma çalışma boşluğu | Şişirilebilir flanşlar, kuvars pencereler ve bağlantı noktaları içerir. | 1 | ACME (ACME |
| 5 | Numune aşaması ve ayarı | Elektrikli sürekli kaldırma ayarı | | |
| 6 | Vakum çekimi | Vakum toplama vakum pompası, valf, boru hattı ve vakum ölçüm sistemi | 1 | ACME (ACME |
| 6-1 | Vakum pompası | 8 L/sn | 1 | Zhongke Keyi veya Feiyue |
| 6-2 | Vakum ölçümü | Vakum göstergesi | 1 | ŞİKON |
| 6-3 | Çalışma basıncı kontrolü | Basınç düzenleme valfi ve deneteç | 1 | ACME (ACME |
| 7 | Gaz MFC ünitesi | 4 yollu kütle akış kontrolü ve valfler. | 1 | ORİBA
|
| 8 | Kızılötesi termometre | 300 ~ 1400 ºC | 1 | Kentech |
| 9 | Ana kontrol ünitesi | PLC ana kontrolü, 10 inç dokunmatik çalışma ekranı ve kabin | 1 | Siemens
|
- Yedek parça listesi
| HAYIR | Parça adı | Model | MIKTAR | Açıklama |
| 1 | Kuvars penceresi | D140 x 15 mm | 1 | |
| 2 | Kuvars camlar için metal ve kauçuk sızdırmazlık halkaları | | 1 | |
Sertifikalar
Şirket Profili
Adres:
Room 1907, Unit 1, Building 1, North Zone, Rongjian Fortune Times Center, 26688 Jingshi Road, Huaiyin District, Jinan City, Jinan, Shandong, China
İşletme Türü:
Üretici/Fabrika, Ticari Şirket
İşletme Aralığı:
Elektrik ve Elektronik, Endüstriyel Ekipmanlar ve Bileşenleri, Üretim ve İşleme Makineleri
Yönetim Sistemi Sertifikasyonu:
ISO 9001, ISO 9000, ISO 14001
Şirket Tanıtımı:
ACME; güç ürünleri için bir mühendislik, üretim ve danışmanlık şirketi, AC dengeli frekans güç kaynağı, değişken frekanslı güç kaynağı, havacılık-askeri için statik güç kaynağı, DC güç kaynağı, invertör güç kaynağı, anahtarlama güç kaynağı (SMPS), 25Hz~1kHz kesintisiz güç kaynağı (UPS), Acil durum güç kaynağı (EPS), enerji beslemeli elektronik yük, reaktif güç kaynağı ve diğer kapsamlı güç kaynağı.
Şirket, teknik birikim ve yetenek rezervi sayesinde yüksek kaliteli yönetim yetenekleri ve AR-GE yeteneklerinden oluşan bir ekibe eğitim verdi. Güçlü AR-GE yatırımı, ürünlerin kullanıcıların farklı ihtiyaçlarını karşılamak için sürekli olarak güncellenmesini sağlar.
Uluslararası alanda mükemmel olmak, şirketin sürekli mücadelesinin hedefidir. ACME Power ürünleri bilgi, ev aletleri, havacılık, havacılık, demiryolu, elektrik gücü, telekomünikasyon, petrol, kimyasal, kömür, finans, menkul kıymetler, radyo ve televizyon, kalite denetimi, kamu güvenliği, askeri, gemi inşaatı, tıp ve sağlık, devlet kurumları, eğitim ve diğer sistemler ve sektörler iyi bir itibara sahip.
Müşteri memnuniyeti nihai hedefimizdir!
