SIC lazer kesmeye yönelik eksiksiz çözüm şunları içerir: Lazer arkası metal talaşlı ekipman, lazer görünmez kesme ekipmanı ve tam otomatik ayırma ekipmanı
Bu ekipman serisi, ultraviyole lazerler kullanarak silikon substrat plaka lazer kesme özelliklerine göre tasarlanmıştır. Bir dizi harici optik yol sistemi, kesme oluğu kesme efektinde hassasiyet, verimlilik ve neredeyse hiç kalıntı kalmayacak şekilde, yüksek hassasiyetli CCD görüntüleme konumlandırma sistemi ve yüksek hassasiyetli platform hareket kontrolüyle birlikte özel olarak tasarlanmıştır.
1.etkili ve yüksek kaliteli işleme için çoklu nokta kesme teknolojisi
2.Tam otomatik yükleme ve boşaltma, insansız ve tam otomatik çalışma
3.2 inç, 4 inç ve 6 inç yongaların üretimiyle uyumludur
4.Otomatik yapıştırma ve temizleme fonksiyonlarıyla donatılmıştır
5.platformun düzlüğü ve tekrarlanabilirliği 1 m'dir
6.Teğet ve geri kesme fonksiyonlarıyla donatılmıştır
Tam otomatik SIC plaka lazer kesme makinesi
Silikon karbür (SIC) çok çeşitli uygulamalara sahiptir ve silikon karbür bileşenler popüler hale gelirse güç dönüştürme cihazları
Önemli değişiklikler meydana geldi. Hibrit elektrikli araçlar, klimalar ve diğer beyaz eşyalar için ve güneş enerjisi üretimi için kullanılabilir
Elektrik, rüzgar enerjisi üretimi, yakıt hücreleri, endüstriyel ekipman ve genel frekans dönüştürücü cihazları ve genel anahtarlarGüç ve diğer yönlerden kurtulun.
Uygulama alanı: Olgun silikon karbür lazer dahili modifiye kesme ekipmanının geliştirilmesi
Silikon karbür malzemeler için yüksek hassasiyetli ve yüksek verimli kesme ekipmanı.
Ana özellikler:
4/6/8 inç plaka üretimiyle tamamen uyumludur;
Etkin içe aktarılmış lazerleri benimseyerek proses etkisi kararlıdır;
DRA otomatik izleme sistemini taşıyan odak, filmin kalınlığına göre gerçek zamanlı olarak ayarlanabilir,
CCD kızılötesi görüntüleme taşır ve ileri ve geri kesme işlevlerine sahiptir;
Film genişletme verimi sağlamak için küçük hububat ürünleri için vakum çatlama sistemiyle donatılmıştır.
İşleme işlemi: Çatlakları kesme (doğrama bıçağı veya vakum kullanarak) ve filmi genişletme
Optik sistemleri ve lazerleri kullanma
Yabancı muadillerine kıyasla benzersiz optik sistem modülü, silikon kristal kontinansın arka tarafta erimesini önler ve SD katmanının kalitesini artırır
Lazer çıkış merkezi dalga boyu:kızılötesi bant
Tekrarlama frekansı: 50-200 KHz
Yüksek hızlı ve yüksek hassasiyetli çalışma platformu
• X/Y strok: 600 × 600 mm
Düz çizgi ±0.002 mm/250 mm
Konumlandırma doğruluğu: ±0.005 mm
X/Y ekseni hareket hızı: Maksimum 1000 mm/sn
DRA kendi kendine takip sistemi
Temassız ölçüm, gerçek zamanlı odaklama sistemi, kesim işlemi sırasında DRA otomatik odaklama kullanılarak film kalınlığındaki değişikliklere göre gerçek zamanlı olarak ayarlanır ve görünmez kesim için lazer odağı sağlar
Değiştirilen katmanın derinliği tutarlıdır ve kalınlık hatasının ±%10 μ m dahilinde olmasına izin verilir Kesme derinliği hatası ± 5 μ m içinde
Sürece Giriş:
Ayırma işlemi, lazer çizilmiş ürüne lazer yolu boyunca belirli bir miktar hafif basınç uygulayarak lazer çalışma noktasında kırığa neden olur; Ürün simetrik bir destek platformuna (orta kısımda ayarlanabilir aralık olacak şekilde) yerleştirilir ve lazer kesim yolunun konumu yüksek hassasiyetli bir görsel sistem (mikrometre seviyesinde konumlandırma) kullanılarak kalibre edilir. Ürün, ürünün üzerinde bulunan bir ayrık bıçak (5 um bıçak genişliğiyle) kullanılarak kesme yolu boyunca (lazer çizik alanında) hızlı bir şekilde kaldırılır ve indirilir. Bu teknoloji, geleneksel sektörlerde 99.6'den fazla verim oranına sahip silikon yonga plakaları, safir, cam ve karışık malzemeler gibi çeşitli kırılgan malzemelerde yaygın olarak kullanılmaktadır. Yüksek konumlandırma doğruluğu, kenarın çökmesini etkili bir şekilde azaltma ve eksik ikiz kristal kırığını çözme gibi teknolojik avantajlara sahiptir.
Silikon karbür işleme planı: Yongalar yukarı bakar, bıçak çatlak kesme yolu:
(1) doğrama bıçağı, görsel konumlandırma yoluyla doğrudan talaş üzerinde çalışır ve çiziğin dışındaki alanlarla temas etmez;
(2) Bıçak genişliği yaklaşık 5 m, destek platformunun düzlüğü 5 m'dir ve işlemin doğruluğunu sağlamak için ilgili çekirdek çalışma ekseninin konumlandırma doğruluğu 2 um dahilindedir
(3) Pah koruması ve kenarın çökmesi riskini azaltma açısından, bıçak ile kesme yolu arasında doğrudan teması önlemek için talaş ön kısmına 25 um yapışmaz koruyucu film katmanı eklemek düşünülebilir. Kesme yolunun dışında bıçak kırılarak uygulanan basınç neredeyse yok sayılabilir. Doğrulama işlemi, yonganın ön yapısını etkilerse bıçak, kesme yolunun ortasında doğrudan çatlayabilir;
HAYIR |
proje |
parametre |
1 |
Makine ile kontrol edilebilir kristal boyutu |
4 inç, 6 inç, 8 inç |
2 |
Kristal sınır kalınlığı işleniyor |
50 μm |
3 |
İşlem hızı |
maksimum 1000 mm/sn |
4 |
Lazer çıkış gücü |
20 W |
5 |
tekrar eden frekans |
0 ~ 200 kHz |
6 |
X. Y ekseni doğruluğu |
Tekrarlanan konumlandırma doğruluğu: ±1 μ M X ekseni düzlüğü: ±1 μ M/300 mm |
7 |
X. Y ekseni maksimum işleme aralığı |
300 mm × 300 mm |
8 |
Z ekseni tekrarlanan doğruluk hatası |
±1 μm |
9 |
θ ekseni |
Dönüş açısı: 210°
Rotasyon çözünürlüğü: 15 ark sn |
10 |
Platform düzlüğü |
≤ ±5um (200 mm aralık içinde) |
11 |
CCD Ayrımcılık İşlevi |
Açı, yatay, ölçüt kalibrasyonu, CCD ışık kaynağı parlaklığı kendiliğinden ayarlama |
12 |
Tanımlama sistemi |
EL ASIRICI |
HAYIR |
proje |
Yönetmelikler |
1 |
ortam sıcaklığı |
22 ºC ± 2 ºC |
2 |
bağıl nem |
%30 ~ 60 |
3 |
Temizlik gereksinimleri |
10000 veya üzeri |
4 |
Atmosfer basıncı (CDA) |
0.5-0,8 milyon |
5 |
güç kaynağı |
Tek fazlı 220V, 50Hz, 16A üzeri |
6 |
Izgara topraklama kablosu |
Bilgisayar odasının ulusal standart gerekliliklerine uygundur |
7 |
Güç şebekesinde dalgalanma |
%5 |
8 |
Ekipman boyutu |
1400 (U) mm × 2200 (G) mm × 2180 (Y) mm |
9 |
Ekipman ağırlığı |
Yaklaşık 3 ton |
10 |
Kaçınılması gereken durumlar |
1.bir logarşal, toz ve yağ buharı ile; 2.Yüksek titreşim ve darbe olan yerler; 3.ilaçlara, yanıcı ve patlayıcı maddelere ulaşabilecek yerler; 4.Yüksek frekanslı parazit kaynaklarının yakınındaki yerler; 5.sıcaklığın hızlı değiştiği yerler, 6.Yüksek konsantrasyonlarda CO2, NOX, SOX, vb. içeren ortamlarda |
SIC lazer kesmeye yönelik eksiksiz çözüm şunları içerir: Lazer arkası metal talaşlı ekipman, lazer görünmez kesme ekipmanı ve tam otomatik ayırma ekipmanı